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5KV以上高壓放大器 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射頻匹配網絡 脈衝和直流電源係（xì）統 射頻等（děng）離子體發生器 遠程等離子（zǐ）體源

可控矽功率控製（zhì）係（xì）列（liè）

靜電電壓表 ESD儀器 氣體傳（chuán）感器 應變傳感器（qì） 熱傳感器

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