AE 為（wéi）半導體沉積（jī）提（tí）供全麵的產品組合，包括等離子電（diàn）源輸送、溫度測（cè）量、溫度控製和晶圓控製解決方案。
AE 等離子功率傳輸、溫（wēn）度測（cè）量（liàng）、溫度控製和晶圓控製解決方案的精確性能和精密控製有助於提高可重複性和產量。
我們提供各種射頻、直（zhí）流和脈衝（chōng）直流電源輸送係統以（yǐ）及各種匹配網絡，以滿足特定的工（gōng）藝要求。
通過全麵的解決方案組合加強工藝控製（zhì）
Advanced Energy 的射頻等離子體功（gōng）率傳輸和高速匹配技術（shù）可為（wéi）要求苛刻的 PECVD 和 PEALD 沉積工藝提供性能定製和優化。我們的直流技術（shù）可為 PVD (濺（jiàn）射（shè）) 和 ECD 沉積工（gōng）藝提供可配置（zhì）電弧響應、功率精度和工藝（yì）可重複性。 我們還（hái）提供溫（wēn）度監控、溫度控製和晶（jīng）圓控製（zhì）技（jì）術，可在製造工藝（yì）的多個環節（jiē）實現精確控（kòng）製（zhì）。
