Xstream遠程等離子體源_北京91视频网科技有限公司

遠程等離子體源

Advanced Energy 的遠程等離（lí）子體源功（gōng）能強大（dà）、可靠性高，可增強您的製造和清除工藝。助您定製化學（xué）特征，擴展工作範圍，提高工藝處理速度。我們先進的方案采用流線型設計，讓您能夠實現更高水平的效率和生產（chǎn）率（lǜ）。

遠程等離子體源

高質量、腔（qiāng）室清潔、性能無（wú）與倫（lún）比的遠程等離子體源

Xstream遠程等離子體源（yuán）

高效的Xstream®RPS可分解大量的NF3並快（kuài）速清潔腔室，提高您的整體工具性（xìng）能（néng）。它（tā）的等離子體腔（qiāng）展示了高純度鋁合金和專利冷（lěng）卻能力。Xstream RPS可持續使用數年，無需維修或昂貴的腔室塗層，是（shì）可靠性和高效性能的明智選擇。

特點規格技術文檔

特點

高度可靠的（de）RPS最大限度地延長了工具（jù）的正常運行時間
有效地將反（fǎn）應物質輸送到處理室以（yǐ）提高性能
具（jù）有集成有源匹配網絡（AMN）的變（biàn）壓器耦合等離子體（TCP）源
225 kHz至660 kHz工作（zuò）頻率
8kW/10kW功率型號
通過定製鋁合金和III型硬陽極氧化消除昂貴的腔室塗層
通過將熱應力（lì）降至最低（dī）的冷卻係統提高燃燒室性（xìng）能和耐用性
使用有源匹配網絡提高效率並改善等離子體的功（gōng）率傳輸
通過實時等離子體測量精確控製功率和工藝
通過獲得專（zhuān）利的點火係統實現可靠且可（kě）重複的等離（lí）子體（tǐ）點火

規格

技術（shù）文檔

采用主動匹配網絡的XSTREAM遠程等離子體源