Rapid Ox遠程等離子體源_北京91视频网科技有限公司

遠程等離子體源

Advanced Energy 的遠程等離子體（tǐ）源功能強大、可靠性高，可增強您的製造和清除工藝。助您定製（zhì）化學特征，擴展工作範（fàn）圍，提高工藝處理（lǐ）速度。我們先進（jìn）的方案采用流線型設（shè）計，讓您（nín）能夠實現更高水平的效率（lǜ）和生（shēng）產率。

遠程等（děng）離子體（tǐ）源

氧基工藝的理想遠程等離子（zǐ）體（tǐ）源

Rapid Ox遠程等（děng）離子體源

由於Rapid OX的可移除石英襯墊，減（jiǎn）少了（le）複合效應並延長（zhǎng）了（le）氧自由基的壽（shòu）命（mìng）。與陽（yáng）極（jí）氧化室（shì）相比，所得的反應物種延長了壽命，提高了光刻膠剝離率。由於石英襯裏易於操作員安裝或拆卸，因此減少了停機時間（jiān），並顯著降低了更換成本。

特點規格技術文檔（dàng）

特點

石英（yīng）襯墊使其成為光刻膠灰化（huà）或碳室清潔工藝的理（lǐ）想選擇
可變頻率匹配提供了一係列等離子體阻抗（kàng）操作，由變（biàn）化的氣體化學、壓力和功率設定（dìng）點（diǎn）控製
改進的熱管理有助於確保長腔室壽命
Rapid OX由於低動態壓力超調而快速點火並達到穩態運行
通（tōng）過可拆卸和可更換的石英（yīng）腔室顯著減少（shǎo）停機時（shí）間和（hé）擁有成本
由於高離解率和高密度自由基生成，提高了（le）工（gōng）藝性能
通過變頻調諧和精確的功率控製確保可重複、可控的過程
由於可（kě）靠的設計和冷卻係統，提高了燃燒室（shì）的使（shǐ）用壽（shòu）命並降低（dī）了服（fú）務成本
提高工具利用率（lǜ），減少預防性維（wéi）護，降（jiàng）低（dī）CoO

規格

技術文檔

Rapid OX RPS Data Sheet