MAXstream遠程等離子體源_北京融（róng）源科技有限公司

遠程（chéng）等離子（zǐ）體源

Advanced Energy 的遠程等離子體源功能強大、可靠性高，可增強（qiáng）您的製造（zào）和清（qīng）除工藝。助您定製化學特征，擴展工作範（fàn）圍，提高工藝處理速度。我們先進的方案（àn）采用流線型設計，讓（ràng）您能夠實現更高水（shuǐ）平的效率和生產率。

遠程等（děng）離子體源

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用於腔室清潔應用的可靠（kào）、高性能遠程等離子體源

MAXstream遠程等離子體源

Advanced Energy的MAXstream™係列是下一代遠程等（děng）離子體源，用於腔室清潔。MAXstream有3、6、8、10和12 SLPM NF3流（liú）速可供選擇，以優化價格和性能。Advanced Energy憑借其久經考驗的差異化等離子體源材料和技術，確（què）保了（le）長腔室壽命和低顆粒生成。獨（dú）特的雙（shuāng）點火芯設計（jì）提供了一流的等離子體點火（huǒ）可（kě）靠性。MAXstream RPS具有（yǒu）可靠且每次點火都能啟動的特點，為RPS維（wéi）護提供了（le）更一致的操作和更少的停機時間。MAXstream RPS有（yǒu）助於降低與傳統RPS係統的兼容性，簡化兼（jiān）容（róng）性（xìng）設計，並（bìng）實現對新的可靠和可重複解決方（fāng）案的無縫現場升級。

特點規格技術文檔

特點

五種型號：適用於低流量應用的MAXstream 300和適用於高流量應用的MAXstream 600、800、1000、1200
高度（dù）可（kě）靠的（de）RPS最大限度地延長了工具的正常運行時間
與傳統RPS裝置集成，實現更高性能和可靠性（xìng）的簡單設計升級路（lù）徑
增強等離子體源壁的冷卻，以減少熱（rè）膨脹和化學侵蝕造成的損壞
主動監測和控製等離子體功率，實現行業領先的功率控製
使客戶能夠通（tōng）過多種流量選項優化成本
使用比Xstream RPS更小的占地麵積節省寶貴的（de）工具空（kōng）間
使用獨特的AE雙點（diǎn）火芯實現（xiàn）幾乎100%的點火可靠性
使用AE專有的3型陽極氧化高純（chún）度鋁基板，延長腔室壽命
通過多達12個SLPM流（liú）量功能減少清潔時間（jiān）

規格

技術文檔

MAXStream 600, 800, 1000, and 1200 Data Sheet

MAXstream 300 Data Sheet