Advanced Energy 的遠程等離子體源功能強大、可靠性高,可增強您的製造和清(qīng)除工藝。助您定製化學特征,擴展工作範圍,提高工藝(yì)處理(lǐ)速度。我們先進的方案采用流線型設(shè)計,讓(ràng)您能夠實現更高水平的效率和生產率。
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Litmas RPS可有效輸送高濃度的反應性氣體,有效減少對環境有害的PFC氣體。將先進的電源和電源技術相(xiàng)結合,使用AE獲得專利(lì)的LitmasMatch™固態電源(yuán)傳(chuán)輸拓撲結構提供了(le)一個寬的(de)操作窗口,以最大(dà)限度地提高工藝開發的靈活性。所選擇的腔室(shì)材料(SiO2或Al2O3)提供低複合以(yǐ)提供高破(pò)壞率效(xiào)率(DRE)和高等離子體密度。這使得能夠與廣泛(fàn)的工藝化學物質兼容。優化(huà)的(de)設計能夠降低公用設施的使用率,延長使用(yòng)壽命,從而降低(dī)總體擁有成本。
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