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5KV以（yǐ）上高壓放大（dà）器 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射頻匹（pǐ）配網絡 脈衝和直流電源係統 射頻等離子體發（fā）生器 遠程（chéng）等離子體源

可控（kòng）矽功率控（kòng）製係列

靜電電（diàn）壓表 ESD儀器 氣體傳（chuán）感（gǎn）器 應變傳感器 熱傳感器

數字溫度計 本安溫度計 濕度測量儀 射（shè）頻和微波 LCR儀表 歐姆（mǔ）表 接地和（hé）粘合 信號（hào）源和放大器 比率標準