Advanced Energy 的匹配網絡可在多個功率範（fàn）圍內實現快速、準確和可靠的匹配。提（tí）供即（jí）插即用型（xíng）號（hào）或可配（pèi）置機組，安裝簡便，可加快調諧並加強工藝控製。
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Navigator®II FCi是一個獨立的（de）微處（chù）理（lǐ）器控製的（de）阻抗匹配網絡。該匹配網絡（luò）包含由分立（lì）固態開關電容器陣列調整的（de）調諧元（yuán）件，需要在更寬的阻抗範圍內實（shí）現快速、精確的（de）調諧。這些匹配具有（yǒu）與傳統匹（pǐ）配類似的形式、占地麵積和調諧範圍，與傳統匹配網絡典型的1秒（miǎo）範圍相比，它們提供（gòng）的調諧時間在毫秒範圍內。這種高速匹配技術經過優化，適用於關鍵的、功（gōng）率敏感的、短持續時間（jiān）的等離子體工藝步驟，如原子層蝕（shí）刻（ALE）。 當配置為全範圍調諧時，Navigator FCi可（kě）以覆蓋與（yǔ）真空電容（róng）器匹配相同的阻抗空間。固態電路的緊湊性使匹配能夠適應傳統版（bǎn）本的類似占地麵積。由於沒有移動的機械部件，這種匹配消除了傳統匹配固（gù）有的磨損和漂移機（jī）製（zhì）。這使得（dé）在一係列（liè）具有挑戰性且不斷變化的等離子體工藝中具（jù）有更高的可靠性和可重複性。
