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射頻匹配網絡

射頻匹配網絡

Advanced Energy 的匹配網絡可在多個功率(lǜ)範(fàn)圍內實(shí)現快速、準確和可靠的匹配。提供即插即用型號或可(kě)配置機組,安裝簡便,可加快調諧並加強工藝控製。

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快速、準確、可靠(kào)的數字(zì)調諧匹配

Navigator II 匹配網絡

Navigator®ll配備了微處理器控製的步進電機驅動器和先(xiān)進的調諧算法,實現了優化的射頻功率(lǜ)。可選的內部Z'Scan®II射(shè)頻傳感器可實時分析工(gōng)藝功率和阻(zǔ)抗,使您能夠快速識別並(bìng)顯著降(jiàng)低工藝可變性。可選的虛擬前麵板軟件可用於通過用戶的計算機進行監控。

特點(diǎn)

具(jù)有增強調諧算法的數字架構
脈(mò)衝射頻功率(lǜ)輸送
掃頻(pín)操作
多頻率應(yīng)用的(de)互調(diào)失真(IMD)抗擾度
實時過(guò)程功率和阻抗測量(liàng)
加快調諧/匹配(pèi)響應時間
加強過程控製
有助於提(tí)高工具吞吐量和產品產量

規格

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