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脈衝和直流（liú）電源係統

脈衝（chōng）和（hé）直流電源係統

利用（yòng） Advanced Energy 全（quán）麵的直流（liú）和脈衝直流套件（jiàn）推進等離子工藝創新，在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度（dù）減少電弧。

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脈（mò）衝和直（zhí）流電源係統

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3至30kW直（zhí）流和脈衝直流電源

Solvix®脈衝和直流電源係統

用（yòng）於金屬和反應濺射（shè）的（de）Solvix直流和脈衝直流電源提供精確的控（kòng）製和（hé）經驗（yàn）證的可靠性，並得到AE全球支（zhī）持網絡的支持。它們提供廣（guǎng）泛的功率和頻率水平、脈衝和多種通信選項，為您的獨特工藝提供了堅固且經濟高效的解決方案。

特點 規格 技術文檔

特點

•一流的電弧（hú）處理
•直流（liú）和脈衝直流裝置（zhì）
•電流（liú）、功率和電壓調節模式
•靈活的體係結構（gòu）
•空氣冷卻
•可配置多個單元以滿足高（gāo）功率要求
•高峰（fēng）間電壓（高頻型（xíng）號）
•專利無抽頭寬輸出負載阻抗範圍（中頻型號）
•經驗證的可靠性、準確性和可重（chóng）複性
•全球支持網絡
•減少基板損壞和工藝汙（wū）染
•對各種工藝要求的適應性
•高吞吐量

規格

技術（shù）文檔

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