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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電源係統(tǒng)

利(lì)用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直(zhí)流套件推進等離子工藝(yì)創新,在提高沉積率(lǜ)、改善薄膜平整度和堆積密度的(de)同時最大限度減少電弧。

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脈(mò)衝和直流電源係統

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PEII脈衝直流電源係統(tǒng)

PEII電源提供40 kHz脈衝寬度調製(zhì)(PWM)。它具有先進的電弧(hú)控製(zhì)和內部負載匹配功能,當單元(yuán)組(zǔ)合在一起時,輸出功率高達60千瓦,不需要變壓(yā)器或調諧(xié)器等外部硬件。電源還提供(gòng)兩個不同的電弧處理電路,浮動輸出(chū)可(kě)以在任(rèn)意一側接地。

特點

•高功率密度
•寬(kuān)抽頭範圍
•功率(lǜ)、電壓或電流的調節
•增強的電弧(hú)控製
•自動過程保護
•靈活(huó)的模塊(kuài)化
•高效、緊湊的(de)設計
•雙陰極和其他(tā)反應(yīng)濺射(shè)應用,用於創建節能的光學和玻璃塗(tú)層
•雙(shuāng)陰極PECVD,生產用於裝飾薄膜、食品包裝、電容器薄膜和其他薄膜的薄膜和塑料塗層
•PECVD、DLC、金屬氧化物和碳塗(tú)層,提供工具和摩擦學塗層

規格

技術文檔

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