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利(lì)用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流和(hé)脈衝直流套件推(tuī)進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的(de)同時最大限度減少電弧。
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經過現場驗證的Pinnacle®直流發電機(jī)提供了卓越的工藝一致性和控製,顯著減少了變化並提高了產量。這種緊湊、多功能的封(fēng)裝提供了出色的電弧管理,具有低存儲能量、快速電弧響應和寬(kuān)的全功率工作阻抗範圍。
Pinnacle Series Datasheet
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