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脈衝和直流(liú)電源係統

脈衝和直流電源係統

利(lì)用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流和(hé)脈衝直流套件推(tuī)進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的(de)同時最大限度減少電弧。

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脈衝和直流電源係統(tǒng)

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最受認可的<=20kW工藝直流電源

Pinnacle III脈衝直流電源(yuán)係統

經過現場驗證的Pinnacle®直流發電機(jī)提供了卓越的工藝一致性和控製,顯著減少了變化並提高了產量。這種緊湊、多功能的封(fēng)裝提供了出色的電弧管理,具有低存儲能量、快速電弧響應和寬(kuān)的全功率工作阻抗範圍。

特(tè)點

降低運營(yíng)和安裝成本
實現快速(sù)電弧響應
配置電弧響應
最大(dà)限度地提高流程效率
精確控製您的流程
低存(cún)儲能量——每(měi)1千瓦輸出(chū)小於(yú)1 mJ
無抽頭更(gèng)改
輸出重複性±0.1%
目(mù)標調節周(zhōu)期(TCC)--最大限度地減少新目標的調節時間
焦耳模式——優化的能量輸送

規格

技術文(wén)檔(dàng)

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