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脈衝和直流(liú)電源(yuán)係統

脈衝和直流電源係(xì)統

利用(yòng) Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等(děng)離子工(gōng)藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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先進的雙磁控濺射配件

Ascent-DMS脈衝(chōng)直流電源係統

Ascent® DMS係列為雙磁控管濺射提供了前所未有的功率傳輸方便和控製,能夠精確(què)調整薄(báo)膜特性(xìng)。Ascent DMS配件具有可選擇的(de)頻率、調節模式和占空比,以及(jí)低存儲能量和簡(jiǎn)化的模塊化係統配置,使其成為真正的下一代技(jì)術。它(tā)具有成本效益、可擴展性和通用性,可最大限度(dù)地降低(dī)複雜性、提高質量並提高吞吐量,從而實現先進的流程創新。Ascent DMS MF-120封裝為標準陰極提供(gòng)經濟高效的中頻電源(yuán),同(tóng)時提供雙極脈衝技術優(yōu)勢。

特點

模塊化和可擴展(40、60和120千瓦型號,可配置功率高達180千(qiān)瓦)
可選頻率(500 Hz至50 kHz)
可調占空比——每個磁控管獨立(lì)的功率比調節
通過分層電弧緩解方法進行高(gāo)級過程管理
相位(wèi)同步
增加薄(báo)膜價值:可重複、可定製的沉積薄膜(mó)
更低的擁(yōng)有成(chéng)本和更高的生產力
更高的(de)功率水平,提高了穩定性,減少了電弧損傷
易於擴展、集成和支持

規格

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地址(zhǐ):北京(jīng)市海澱區上地信息路1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

郵(yóu)箱:info@huisentaoci.com

網址:www.huisentaoci.com

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