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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電源(yuán)係統

利(lì)用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流(liú)和脈衝直(zhí)流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度(dù)減少電弧。

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前(qián)所未(wèi)有的單、雙(shuāng)磁控濺射功率控製(zhì)

Ascent AP脈衝直流電源係統

Ascent®AP電源以AE®一流的雙極脈衝直流技術為基礎,通過先進的脈衝整形以及包括全電壓(yā)反轉和自調整電(diàn)弧(hú)參數在內的四塊漸進式電弧管理,擴(kuò)展了您優化輸出(chū)的能力。這(zhè)種緊湊型解決方案的專利脈衝技術可主動抑(yì)製電弧,同時其廣泛的操(cāo)作範圍可(kě)解鎖材料選擇,以擴展(zhǎn)單(dān)磁控管和(hé)雙磁控管工藝的靈活性(xìng)和材料創新。

特點

具有廣泛功率輸送參數的工藝定製
通過(guò)分層電弧緩解方法進行高級過程管理(lǐ)
緊湊的單機解決(jué)方案(最高30千瓦)
Set Point Compensation™技術可實現穩定的(de)吞吐量
廣泛的操作(zuò)範圍可實現各種工藝材料
與(yǔ)Advanced Energy™的PowerInsight兼容
電介質和導(dǎo)電膜的精確濺射(shè)
擴展的過程控製、靈活性和創新
高膠片(piàn)質量和產量
可重複、可定(dìng)製的膠片
更高(gāo)的功率水平,減(jiǎn)少電弧損傷
易(yì)於集成和控製

規格

技術文檔

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