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脈衝和直流電源係統

脈衝和直流電源係統(tǒng)

利用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流和脈衝直流套件推進等(děng)離子工藝創新,在提高沉(chén)積率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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脈衝和直(zhí)流電源係統

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極端電弧條(tiáo)件下的穩定功率輸送和(hé)高重複性(xìng)薄膜

Ascent AMS脈衝直流電源係統

隨著(zhe)製造技術的進步,新材料和陰極設計對工藝穩定性和薄膜可重複性提出了更(gèng)大的挑戰。Ascent®AMS電源提供穩定、可重複的電源,無論工藝材料(liào)或陰極設計如何。AMS提(tí)供先進的電弧管理,允許最大限(xiàn)度地輸(shū)送(sòng)功率,並能更快地恢複處理。極快的恢複也意味著通過電弧(hú)輸(shū)送的能量極低,可以防止(zhǐ)基板損壞。對於高功(gōng)率應用,Ascent AMS可用於主/輔配置。常見的應用包括超過100千瓦(wǎ)的輸出配置。然而,水/空氣(qì)冷卻的組合設計將發電機(jī)的占地麵(miàn)積保持在最低限度。

特點

電弧管理係統™(AMS)技術——金屬和陶瓷靶的客戶預(yù)設
Set Point Compensation™技術
Arc Sync®技術--主/輔最多12個單元
以太網、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太網/IP和模擬(nǐ)通信
獲得高膠片質量和產量
減少薄膜、基板和設備(bèi)損壞
在極端電弧條件下實現穩定的吞吐量和(hé)功率輸送
易於(yú)集成和控製(zhì)

規格

技術文檔

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